º» ¼Àû¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âº»Áö½ÄÀ» ½±°Ô ½ÀµæÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¸Å¿ì °£´ÜÇÏ¸é¼ ¸í·áÇÏ°Ô ¼³¸íÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ´©±¸³ª Àаí ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ½±°Ô ±×¸²À» ÅëÇÏ¿© ¼³¸íÇÏ¿´À¸¸ç ±¤¹üÀ§ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Áö½ÄÀ» ´Ü±â°£¿¡ ½ÀµæÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¸ðµç ¼³¸íÀ» ±º´õ´õ±â ¾øÀÌ ÁøÇàÇØ ³ª°¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀϹÝÀÎÀ̶ó¸é ÀÌ Á¤µµ¸¦ ½ÀµæÇÏ°íµµ ÃæºÐÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Á߿伺À» ÀνÄÇÒ °ÍÀÌÁö¸¸ Àü°øÇÏ´Â Çлýµé¿¡°Ô´Â ÀÌ ¼ÀûÀÇ ³»¿ëÀ¸·Ð ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¿ÏÀüÈ÷ ÀÌÇØÇϱâ´Â ºÎÁ·ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ¼ÀûÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¸¹Àº Âü°í¼ÀûÀ» Á¢Çغ¸½Ã±â ¹Ù¶ø´Ï´Ù. ±×·¯¸é º»Àεµ ¸ð¸£°Ô ¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¹ßÀüÀÇ ÀÏÀÍÀ» ´ã´çÇÏ°í ÀÖÀ» °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼¸¦ °øºÎÇÏ´Â ¸ðµç Çлýµé¿¡°Ô ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¹«ÇÑÇÑ ¹ßÀü °¡´É¼º¿¡ µµÀüÇØ Áֽñæ±â¿øÇÕ´Ï´Ù.
¸ñÂ÷
¿ªÀÚ ¼¹®
¸Ó¸®¸»
CHAPTER 1 ¹ÝµµÃ¼¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
1.1 ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼ºÀåÀº ºÒ¿ÏÀüÇÑ µµÃ¼·ÎºÎÅÍ
1.2 ź¼Òµµ ¹ÝµµÃ¼
1.3 Àü±âÀúÇ×ÀÇ ¹üÀ§ º¯È-¹ÝµµÃ¼ÀÇ °¡Àå Å« Ư¡
1.4 ¿Âµµ»ó½ÂÀ¸·Î ÀúÇ×·üÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ ³·¾ÆÁö´Â Ư¼º
1.5 ºÒ¼ø¹°¿¡ ¹Î°¨ÇÏ°Ô ¹ÝÀÀÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼º
1.6 ¾çÀÚ·ÐÀÌ ÇظíÇÑ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Àü±âÀû Ư¼º
1.7 ´ë¿ªÀÌ·ÐÀ¸·Î ÀÌÇØÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿Æ¯¼º
1.8 ¼ø¼ö¹ÝµµÃ¼¿Í ºÒ¼ø¹° ¹ÝµµÃ¼
1.9 Àü±â¸¦ ¿î¹ÝÇϴ ij¸®¾î(ÀüÀÚ¿Í Á¤°ø)
1.10 ºÒ¼ø¹° ¹ÝµµÃ¼¿Í °¡ÀüÀÚÁ¦¾î
1.11 nÇü ¹ÝµµÃ¼¿Í pÇü ¹ÝµµÃ¼
1.12 nÇü ¹ÝµµÃ¼¿Í ÀüÇÏÀü¼Û
1.13 pÇü ¹ÝµµÃ¼¿Í ÀüÇÏÀü¼Û
1.14 nÇü, pÇüÀÇ Åº»ýÁö º§ ÀüÈ¿¬±¸¼Ò
1.15 ¾î¶»°Ô ½Ç¸®ÄÜÀÌ ¹ÝµµÃ¼Àç·á·Î ¼±ÅõǾú´Â°¡
1.16 pnÁ¢ÇÕ¿¡¼ ij¸®¾îÀÇ ¿òÁ÷ÀÓ
1.17 pnÁ¢ÇÕÀÇ ÆòÇü»óÅÂ¿Í ¿¡³ÊÁö´ë¿ªµµ
1.18 pnÁ¢ÇÕ¿¡ Àü¾ÐÀ» Àΰ¡Çϸé
1.19 ¿ª¹æÇâ ¹ÙÀ̾¿Í Ç׺¹Çö»ó
1.20 ¹ß±¤ ¹ÝµµÃ¼¿Í ºñ¹ß±¤ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Â÷ÀÌ
1.21 ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¹ß±¤ ÆÄÀåÀº ¾î¶»°Ô °áÁ¤µÇ´Â°¡
1.22 ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¹¦¹Ì´Â È¥ÇÕ¿¡ ÀÖ´Ù
1.23 ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ°ú 2Â÷¿ø ÀüÀÚ°¡½º
1.24 ÀüÀÚ¸¦ °¤È÷°Ô ÇÏ´Â ¾çÀÚ¿ì¹°
CHAPTER 2 ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Åº»ý
2.1 ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
2.2 ÀüÀÚ°øÇÐÀÇ ½ÃÀÛ°ú ÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Ã¢Á¶
2.3 Áø°ø°ü¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ½Ã´ë·Î
2.4 Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹ß¸í
2.5 Á¢ÇÕÇü Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ µ¿ÀÛ¿ø¸®
2.6 Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ÁõÆøÀÛ¿ë
2.7 Àü°èÈ¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ (FET)
2.8 MOS Æ®·£Áö½ºÅÍ (MOSFET)
2.9 MOS Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ µ¿ÀÛƯ¼º
2.10 ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ Æ®·£Áö½ºÅÍ(MESFET)ÀÇ È°¾à
2.11 °íÀüÀÚÀ̵¿µµ Æ®·£Áö½ºÅÍ (HEMT)
2.12 ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ ¹ÙÀÌÆú¶ó Æ®·£Áö½ºÅÍ(HBT)
2.13 ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Â Àü·Â ¹ÝµµÃ¼
2.14 Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÁÖ¿ä»çÇ× : ³»¾Ð°ú ¿Â-ÀúÇ×
2.15 ´ëÀü·ù¸¦ Á¤·ù¡¤Á¦¾îÇÏ´Â »çÀ̸®½ºÅÍ
2.16 ±³·ùÀü·ÂÀ» Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Æ®¶óÀ̾Ç(TRIAC)
2.17 ´ëÀü·Â Æ®·£Áö½ºÅÍ-Àü·Â ¹ÝµµÃ¼
2.18 °í³»¾Ð¿ë Àü·Â ¹ÝµµÃ¼-IGBT
2.19 IT ½Ã´ë¸¦ ÁöÅÊÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î
2.20 µðÁöÅÐ ICÀÇ ±âº»Àº CMOS ÀιöÅÍ
2.21 ´ë±Ô¸ð ÁýÀûȸ·ÎÀÇ Á¾·ù
2.22 »ç¿ëÀÚ ÇÁ·Î±×·¡¹Ö IC
2.23 ¹ÝµµÃ¼ ¸Þ¸ð¸®ÀÇ Á¾·ù
2.24 ¹ÝµµÃ¼ ¸Þ¸ð¸®ÀÇ ´ëÇ¥- DRAM
2.25 ±â¾ï Á¤º¸°¡ Áö¿öÁöÁö ¾Ê´Â Ç÷¡½Ã(frash) ¸Þ¸ð¸®
2.26 À̹ÌÁö ¼¾¼´Â ÀüÀÚ ´«
2.27 ¸ð¹ÙÀÏ ½Ã´ëÀÇ ¸ð³ë¸®½Ä-¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ÁýÀûȸ·Î(MMIC)
CHAPTER 3 ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·ÎÀÇ Á¦Á¶±â¼ú
3.1 ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î°¡ ¸¸µé¾îÁö±â ±îÁö
3.2 °í¼øµµ ½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤ Á¦Á¶
3.3 ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ À×°÷ÀÇ Á¦Á¶
3.4 ¿þÀÌÆÛ - ÀÚ¸£±â ¹× °¡°ø
3.5 ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» µ¤´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸· ¿¡ÇÇÅýà ±â¼ú
3.6 [Àü°øÁ¤] ÁýÀûȸ·ÎÀÇ ¹ßÀüÀº »çÁø½Ä°¢ °øÁ¤ÀÌ °áÁ¤
3.7 ±Ý¼ÓÀü±ØÀ» Á¦ÀÛÇϱâ À§ÇÑ ½ºÆÛÅ͸µ
3.8 MOS Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Á¦Á¶ °øÁ¤
3.9 [ÈÄ°øÁ¤] ´ÙÀ̽Ì(dicing)ºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ±îÁö
CHAPTER 4 ±¤ÀüÀÚ°øÇÐ
4.1 °¢±¤¹Þ°í ÀÖ´Â ±¤ÀüÀÚ°øÇÐ
4.2 ¹ÝµµÃ¼°¡ ºûÀ» ¹æÃâÇÏ´Â 3°¡Áö ¸ÞÄ¿´ÏÁò
4.3 pnÁ¢ÇÕ¿¡¼ ºû³ª´Â ¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå
4.4 ÀÌÁß ÀÌÁ¾±¸Á¶°¡ ¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå¸¦ ¹à°ÔÇÑ´Ù
4.5 û»ö ¹ß±¤´ÙÀÌ¿ÀµåÀÇ ½ÇÇö
4.6 ¹é»ö ¹ß±¤´ÙÀÌ¿ÀµåÀÇ ½Ã´ë
4.7 ºûÀ» °ËÃâÇÏ´Â ±¤´ÙÀÌ¿Àµå
4.8 ±¤ÀüµµÈ¿°ú·Î ºûÀ» °¨ÁöÇÏ´Â Æ÷Å伿
4.9 ·¹ÀÌÀú¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
4.10 ·¹ÀÌÀú ¹ßÁøÀº ¾î¶»°Ô ÀϾ´Â°¡
4.11 ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀúÀÇ ±âº»±¸Á¶
CHAPTER 5 ¹ÝµµÃ¼ ±¤Àü¼ÒÀÚ
5.1 ž籤À» Àü±â·Î ¹Ù²Ù´Â žçÀüÁö
5.2 žçÀüÁöÀÇ Á¾·ù¿Í º¯È¯È¿À²
5.3 º¸±ÞÀÌ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜ°è žçÀüÁö
5.4 ÈÇÕ¹°°è žçÀüÁö : CIS¿Í CIGS
5.5 ÂùÇÕ ¸ð¾çÀ¸·Î °ãÃÄ °íÈ¿À²ÈÇÏ´Â ÅÄ´ýÇü žçÀüÁö
5.6 Åõ¸íÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·
5.7 ¿À» Àü±â¿¡³ÊÁö·Î º¯È¯ÇÏ´Â ¿Àüº¯È¯¼ÒÀÚ
CHAPTER 6 ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÃֽŠµ¿Çâ
6.1 ÀüÀÚ¸¸À¸·Îµµ ºû³ª´Â ¾çÀÚÆøÆ÷ ·¹ÀÌÀú(QCL)
6.2 ºÐ¸»°¡·ç¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼·Î º¯½ÅÇÏ´Â »êȾƿ¬(ZnO)
6.3 ¹ÝµµÃ¼¿Í ÀÚ¼ºÃ¼¸¦ À¶ÇÕÇÏ´Â ½ºÇÉÆ®·Î´Ð½º
6.4 źȽǸ®ÄÜ(SiC)ÀÌ ¿¼è¸¦ Áã°í ÀÖ´Â Àü·ÂÀüÀÚ
¸ÎÀ½¸»
»çÁø ¹× ÀÚ·á Á¦°ø Âü°í ¹®Çå
¿ë¾î »öÀÎ