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집적회로 공정기술

판매가격 :   20,000 원
저자 :   연규호
출판사 :   21세기사

집적회로 공학은 전자, 전자통신공학과 일체가 되어 정보의 전달, 과학분야의 발전, 문화생활의 향상, 이동통신, 컴퓨터, 우주개발, 사무처리 능률화 등 인류과학의 모든 분야에 공인하는 바가 지대하다. 현재 전자, 전자통신, 컴퓨터, 이동통신, 정보통신 분야의 공업이 활발하게 진행되고 있어서 이에 수반되는 집적회로 분야의 교과서나 참고서가 절실히 요구되고 있다. 따라서 이 책은 저자가 여러 해 동안 전자통신 실무분야에 근무하면서 절실히 필요했던 분야를 정리하여, 집적회로 전반에 대하여 가장 알기 쉽고 이해하기 편리하도록 구성하였다.

목차

Part공정기술

1장 반도체 산업

2장 반도체 제조

3장 반도체 공정의 수율

4장 반도체 재료

5장 결정성장 및 웨이퍼 형성

6N/P 접합

7장 오염 조절

8장 산화(Oxidation)

9장 포토마스킹 개관

10장 포토리지스트 화학

11장 포토마스킹 기술

12장 포토마스킹 기술

13장 포토마스킹 기술

14장 도핑확산 및 이온주입

15장 화학증착

16장 금속공정

17장 웨이퍼테스트 및 평가방법

18장 반도체 소자

19장 집적회로형성

20장 반도체 회로 기술

 

Part 프로세스 체크

1장 프로세스 체크

2장 포토마스크 제작기술

3장 광 검출 1비트 마이크로프로세서

452피트 스타틱 마이크로 컴퓨터

53차원 집적회로를 향한 전망


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