집적회로 공학은 전자, 전자통신공학과 일체가 되어 정보의 전달, 과학분야의 발전, 문화생활의 향상, 이동통신, 컴퓨터, 우주개발, 사무처리 능률화 등 인류과학의 모든 분야에 공인하는 바가 지대하다. 현재 전자, 전자통신, 컴퓨터, 이동통신, 정보통신 분야의 공업이 활발하게 진행되고 있어서 이에 수반되는 집적회로 분야의 교과서나 참고서가 절실히 요구되고 있다. 따라서 이 책은 저자가 여러 해 동안 전자통신 실무분야에 근무하면서 절실히 필요했던 분야를 정리하여, 집적회로 전반에 대하여 가장 알기 쉽고 이해하기 편리하도록 구성하였다.

목차

PartⅠ 공정기술

제1장 반도체 산업

제2장 반도체 제조

제3장 반도체 공정의 수율

제4장 반도체 재료

제5장 결정성장 및 웨이퍼 형성

제6장 N/P 접합

제7장 오염 조절

제8장 산화(Oxidation)

제9장 포토마스킹 개관

제10장 포토리지스트 화학

제11장 포토마스킹 기술 Ⅰ

제12장 포토마스킹 기술 Ⅱ

제13장 포토마스킹 기술 Ⅲ

제14장 도핑•확산 및 이온주입

제15장 화학증착

제16장 금속공정

제17장 웨이퍼테스트 및 평가방법

제18장 반도체 소자

제19장 집적회로형성

제20장 반도체 회로 기술

Part Ⅱ 프로세스 체크

제1장 프로세스 체크

제2장 포토마스크 제작기술

제3장 광 검출 1비트 마이크로프로세서

제4장 5핀 2피트 스타틱 마이크로 컴퓨터

제5장 3차원 집적회로를 향한 전망